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型號

CL-L007N*1

CL-L015N*1

CL-L030N*1

CL-L070N*1

圖像

類型

光學單元

探頭

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

基準距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

標準設定范圍

測量范圍

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

直線性

± 2.1 µm *2

± 0.49 µm *2

± 0.94 µm *2

± 2.2 µm *2

高精度測量范圍

測量范圍

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

直線性

± 0.91 µm *2

± 0.41 µm *2

± 0.72 µm *2

± 2.0 µm *2

分辨率

0.25 µm *3

光點直徑

? 750 µm

? 300 µm

? 500 µm

? 600 µm

激光級別

光學單元

Class 1

采樣周期

100/200/500/1000 µs(4 段可調)

環(huán)境抗耐性

保護結構

探頭

IP67(IEC60529)

環(huán)境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

環(huán)境溫度

0 至 50℃

相對濕度

20 至 85%RH(無結露)

耐振動性

探頭

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

光學單元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

耐沖擊性

15G 6 ms

溫度特性

探頭

0.005% of F.S. /℃

光學單元

0.015% of F.S. /℃

材質

探頭

SUS

前部：SUS 后部：鋁合金

光學單元

聚碳酸酯

重量

探頭

約 140 g

約 180 g

約 200 g

約 280 g

光學單元

約 1600 g

*1 探頭和光學單元可進行微調。無互換性。
*2 通過位移模式測量本公司標準工件(鏡面體)的值。
*3 按平均次數 16384 次測量本公司標準工件(鏡面體)的值。