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主要性能指標(biāo)：

玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm

試樣臺(tái)尺寸：Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯

金靶尺寸：Φ58mm

真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S

真空檢測(cè)：皮氏計(jì)

真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空

工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)

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