氮化鈦屬于間隙化合物，具有美麗的金黃色光澤，化學穩(wěn)定性好，熔點高達3000℃，維氏顯微硬度為20GPa左右。氮化鈦以面心立方的-TiN和體心四方的Ti2N兩種相存在Ti2N的Ti/N比變化范圍很窄，而的N/Ti比的變化范圍則很寬。當N/Ti偏離1時，TiN中存在原子空位。這兩種相的顏色和硬度相近。使用的氮化鈦鍍層，其中常常TiN和Ti2N兩相共存，其組成比可以通過工藝調(diào)節(jié)
60年代末，人們以TiCl4為原料，用化學氣相沉積在硬質(zhì)合金基體上制備出氮化鈦膜，其反應溫度在900-1100攝氏度。由于氮化鈦膜的硬度高、紅硬性好，并兼有良好的韌性，耐磨性好，能成倍提高硬質(zhì)合金刀具的壽命，使硬質(zhì)合金刀具涂筱率很快達到70%以上。70年代末，人們用離子鍍制成氮化鈦膜，沉積溫度低于550攝氏度，可鍍在高速鋼上，使高速鋼刀具的涂覆率達到50%以上。除耐磨涂層外，氮化鈦膜還大量用作表殼、表帶和其它日用品的仿金鍍層，其耐磨性遠超過鍍金層和其它仿金合金鍍層。此外，氮化鈦膜還可用作耐腐蝕鍍層、微電子器件的擴散障礙層、光學反射層等
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