臺式

采用了無風(fēng)TRINC (*無風(fēng)動作)，是可以不起風(fēng)，不卷起灰塵的理想的除靜電裝置。
水準(zhǔn)的離子平衡讓高精度、高品質(zhì)除靜電成為可能，另外，超短帶電衰減時間也幫
助實現(xiàn)了超高速除靜電。裝載著以控制理論為基礎(chǔ)，具有的高可靠性的精確反饋控制系統(tǒng)。

離子平衡器　

• 離子平衡器NWM　TAS-182NWM

• 無風(fēng)TRINC
  可以組裝在機(jī)器里、超小型高精度機(jī)型

• ■ 高精度除靜電

• ■ 超小型

• ■ 可以無風(fēng)TRINC

• ■ 低耗能

• ■ 適應(yīng)SUS制房屋的無塵環(huán)境

• ■ 可嵌入組裝到半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)

• ■ 其他通用

仟漁：