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半導(dǎo)體微型氣體質(zhì)量流量計 型號:GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F2

庫號：M110042

材質(zhì)：不銹鋼 精度等級：1

適用介質(zhì)：氣體 款式：電子帶數(shù)顯

公稱直徑：6mm 工作壓力：3Mpa

流量測速范圍：0---30SLMkg/h 工作溫度：5-65℃℃

介質(zhì)：氧氣

流量范圍：750-3000SCCM

供電：DC24V

輸入輸出：0-5v或者4-20mA

顯示：LCD

通訊：RS485

精度：±1%FS

壓差范圍：0.05Mpa-0.3MPa

進口壓力：≤3Mpa

溫度：5-65℃

連接：1/4卡套接頭

氮氣標定量程

微小氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍

應(yīng)用領(lǐng)域應(yīng)用到熱處理，半導(dǎo)體，真空設(shè)備，太陽能，分析儀器，光電，制氣，醫(yī)療，化工，鍋爐等各個領(lǐng)域。

微小氣體質(zhì)量流量控制器原理

采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的量使之與設(shè)定的流量相等。

微小氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品

1.多氣體、多量程、高精度、快反應(yīng)。

2.重復(fù)性好，穩(wěn)定性高，高。

3.工作壓力范圍寬，使用壽命長。

4.本地顯示，高清晰液晶屏數(shù)字、模擬量輸入輸出。

微小氣體質(zhì)量流量控制器安裝注意事項：

測量介質(zhì)：氣體凈化，切忌粉塵、液體和油污。

工作壓差：要特別注意工作介質(zhì)的氣壓，應(yīng)注意使控制器進出氣口兩端的工作壓差保持在指標范圍之內(nèi)。工作壓差不在規(guī)定的范圍內(nèi)，流量將無法關(guān)閉或調(diào)小。在使用大流量的質(zhì)量流量控制器時，要注意適當加粗管道和減小氣源內(nèi)阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達不到滿量程值。（建議客戶：在進出口處安裝壓力表）