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便攜式電阻率測試儀是用來測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及標準測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計。它主要由電器測量部份（主機）及四探針頭組成，需要時可加配測試架。

為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及電阻率。樣品測試電流由高精度的恒流源提供，可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1～100Ω·cm標準樣片的測量誤差不過±3%

主要技術(shù)指標

（1）測量范圍：

可測量電阻率：0.01～199.9Ω·cm

可測方塊電阻： 0.1～1999Ω/□

當被測材料電阻率≥200Ω·cm數(shù)字表顯示0.00

（2）恒流源：

輸出電流：DC 0.1mA～10mA分兩檔

1mA量程：0.1～1mA 連續(xù)可調(diào)

10mA量程：1mA ～10mA連續(xù)可調(diào)

恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%

（3）直流數(shù)字電壓表

測量范圍：0～199.9mv

靈敏度：100μV

準確度：0.2%（±2個字）

（4）供電電源：

AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W

（5）使用環(huán)境：

相對濕度≤80%

（6）重量、體積

重量：2.2Kg

體積：寬210×高100×深240（mm）