Inficon 真空計 型號:TR48-PEG100-351-000
庫號:M408162 查看hh
測量范圍廣:5 X 10-7~1 Pa
全金屬冷陰極陶瓷傳感器
幾何電極提供了的點火性能
降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險,即使在氬濺射過程中也一樣
陽極環(huán)和鈦陰極可清洗,更換容易
小磁場強度測量
LED指示燈電源和等離子點火
對數(shù)模擬輸出信號
Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信
用 途
高真空壓強監(jiān)測
蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)
中, 高真空范圍的一般真空測量與控制
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