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數(shù)字式四探針測試儀 半導體材料電阻率測試儀 半導體材料電阻檢測儀

型號DL10-4

DL10-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。

儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

DL10-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技　術　指　標：

測量范圍電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴展)；

方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴展)；

電導率：0.005～1000s/cm；

電阻：0.001～200Ω.cm；

可測晶片直徑140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；

200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；

400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調

數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

輸入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1%；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；

探針壓力：5～16牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

(按JJG508-87進行)0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機測量相對誤差(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度≤5%

計算機通訊接口并口

標準使用環(huán)境溫度：23±2℃；

相對濕度：≤65%；

無高頻干擾；

無強光直射；