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儀器特點(diǎn)：

超精密 高性能

◆ 超精密全自動(dòng)測(cè)量，三軸CNC閉環(huán)控制系統(tǒng)；

◆ 00級(jí)花崗石機(jī)臺(tái)，精度高、穩(wěn)定性好；

◆ 三軸研磨精密線性滑軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng)；

◆ 0.5UM德國(guó)RSF光柵與英國(guó)Renishaw貼片式光柵尺隨機(jī)可選，精度高、穩(wěn)定性好；

◆ 進(jìn)口自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變倍測(cè)量；

◆ 可程控3環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源可選；

◆ 自動(dòng)對(duì)焦測(cè)高，可加裝各種RENISHAW接觸式測(cè)頭（PH6、MH20I、MCP等）、點(diǎn)激光掃描測(cè)頭；

◆ 國(guó)內(nèi)空間補(bǔ)償、軟件修正11項(xiàng)誤差；

◆ 通過(guò)德國(guó)PTB機(jī)構(gòu)認(rèn)證的強(qiáng)大AC-Optic光學(xué)測(cè)量軟件；

◆ 提供多種行程規(guī)格配置，如3020、4030、5040等。