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pfeiffer-vacuum ACP 28 A 100 L ES ACG 600 G 羅茨泵

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產(chǎn)品型號:ACP 28
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:接口/傳感器
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2023-07-13 10:31:40
  • 瀏覽次數(shù):10

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  • 經(jīng)營模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:328條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊時間:2023-07-13
  • 最近登錄:2023-07-13
  • 聯(lián)系人:潘先生
產(chǎn)品簡介

清潔和干燥應用的解決方案普發(fā)真空多級羅茨泵為各種應用和市場生成清潔和干燥的真空環(huán)境

詳情介紹

  清潔和干燥應用的解決方案

普發(fā)真空多級羅茨泵為各種應用和市場生成清潔和干燥的真空環(huán)境。

  例如,小型 ACP 羅茨泵在粒子中形成渦輪分子泵所需的前級真空。具有高抽速和低最終壓力的大型 ACP 120 泵可用于冷凍干燥應用。A 100 L 和 A 200 L 是用于裝載互鎖和傳輸室的緊湊型干式泵,專為集成到半導體系統(tǒng)或晶圓廠底層地板而開發(fā)。A3、ADH 和 A4多級羅茨泵在半導體和涂層行業(yè)中被大量用作流程泵。所有這些應用都有一個共同點:它們均需要一個潔凈、干燥的真空環(huán)境。

  在此,多級羅茨泵技術是的解決方案。其無摩擦工作泵送模塊在轉(zhuǎn)子和定子之間無需潤滑劑和密封材料。所以,可以避免烴類蒸汽回流。在泵的吸入室,不處理任何密封材料。這意味著泵里沒有粒子,長期可靠且穩(wěn)定,這將會帶來低擁有成本。

多級羅茨泵在潔凈工藝上的使用領域

  ACP 系列的風冷式羅茨多級泵低維護,性能穩(wěn)定,與眾不同。它們可用于工業(yè)或粒子應用以及半導體生產(chǎn)的清潔工藝。

  A 100 L 和 A 200 L 緊湊型羅茨泵因其較小的尺寸而可以輕松地集成到系統(tǒng)中。半導體的裝載互鎖與傳輸室是這種類型泵的典型應用領域。

  ACP 120 系列帶有水冷卻的多級羅茨泵用堅固的鑄造金屬制成。就像 ACG 600 系列羅茨泵站一樣,它們用于需要較高抽速的研究、開發(fā)、真空噴涂和冶金行業(yè)。

侵蝕性的應用不成問題

  A3P 至 A4XN 系列多級羅茨泵是為半導體和光伏生產(chǎn)的侵蝕性工藝而開發(fā)的,在此類應用中,必須傳輸少量的腐蝕性氣體或冷凝物。A3P 和 A3XN 泵緊湊且高能效。低噪音開發(fā)和低振動水平是該系列的突出特征。A4 系列多級羅茨泵的抽速可高達 3,000 m3/h,采用防腐材料制成。

  媒介耐受性以及高氣體流通量使這些多級羅茨泵成為半導體行業(yè) CVD 工藝應用的解決方案。ADH 系列專門為太陽能、半導體和 LED 市場的輕氣體和高流量應用工藝而開發(fā),N2 和 H2 的高性能抽速可達 600 至 4,500 m3/h。由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應力能力,所以泵能提供增強的安全性。

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