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TEKTRONIX 泰克KEITHLEY 6514 系列可編程靜電計(jì)

Tektronix 泰克

Tektronix 泰克Keithley 6514可編程靜電計(jì)產(chǎn)品介紹：

產(chǎn)品型號(hào)：Keithley 6514
產(chǎn)品品牌：Tektronix 泰克
產(chǎn)品類別：靜電計(jì)
產(chǎn)品備注：可編程靜電計(jì)

Tektronix 泰克Keithley 6514可編程靜電計(jì)產(chǎn)品概述：

6514型靜電計(jì)具有靈活的接口性能，其電流靈敏度、電荷測(cè)量能力、分辨率和速度都優(yōu)于我們之前的靜電計(jì)。6514內(nèi)置式IEEE-488、RS-232與數(shù)字式I/O接口使它可以很容易地配置為全自動(dòng)、高速系統(tǒng)，用于低電平測(cè)試。

Tektronix 泰克Keithley 6514可編程靜電計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)：

• <1fa噪音

• 電壓測(cè)量中的輸入阻抗>200T

• 電荷測(cè)量范圍為 10fC至 20µC

• 高速—每秒高達(dá) 1200 個(gè)讀數(shù)

• 易于與交換機(jī)，計(jì)算機(jī)和組件處理程序接口

• 輕松消除電壓和電流偏移

6514 型靜電計(jì)將靈活的接口功能與電流靈

敏度，電荷測(cè)量功能，分辨率和速度相結(jié)合， 這些功能等于或優(yōu)于我們以前的靜電計(jì)。6514 型的內(nèi)置 IEEE-488，RS-232 和數(shù)字I

/ O 接口使配置用于底層測(cè)試的全自動(dòng)，高速系統(tǒng)變得簡(jiǎn)單。

5?位的 6514 型設(shè)計(jì)用于要求快速而地測(cè)量低電流，高電阻源電壓，電荷或高電阻的應(yīng)用。

6514 型的測(cè)量性能以合理的提供。盡管其成本可以與許多數(shù)字萬(wàn)用表相媲美， 但 6514 型具有比其他儀器所能提供的更高的電流靈敏度和更低的電壓負(fù)擔(dān)（低至 20µV）。

經(jīng)濟(jì)組件測(cè)試

曾經(jīng)，靜電計(jì)被簡(jiǎn)單地認(rèn)為太慢而無(wú)法滿足生產(chǎn)測(cè)試應(yīng)用程序所要求的高吞吐量。6514 型號(hào)專為快速，靈敏的測(cè)量而設(shè)計(jì)，通過(guò)快速積分可提供高達(dá)每秒 1200 個(gè)讀數(shù)的速度，而通過(guò) 60Hz 線周積分可提供每秒 17 個(gè)測(cè)量值。它對(duì) 2nA 信號(hào)提供 10fA 分辨率，僅需 15ms 即可將其穩(wěn)定在*終值的 10％之內(nèi)。60dB 的正常模式抑制比（NMRR）允許進(jìn)行的低電流測(cè)量，即使在存在線路頻率感應(yīng)電流的情況下，這也是生產(chǎn)車間環(huán)境中普遍關(guān)注的問(wèn)題。儀器的靈敏度使得使用串聯(lián)電。

阻器可以輕松確定高達(dá) 10nF 的電容甚至更高電容的泄漏電阻。

盡管 6514 型可以使用前面板控件輕松地手動(dòng)操作，但也可以在外部進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試應(yīng)用的控制。內(nèi)置的 IEEE-488 和 RS- 232 接口使其成為可能

圖 1.負(fù)載電壓未經(jīng)校正的暗電流測(cè)量

圖 2.校正負(fù)載電壓后的暗電流測(cè)量

圖3.使用數(shù)字萬(wàn)用表進(jìn)行測(cè)量時(shí)，由于負(fù)載電壓引起的錯(cuò)誤

下面的示例將DMM 的電壓負(fù)擔(dān)誤差與 6514 的誤差進(jìn)行了比較。

DMM 補(bǔ)償電流

通常，數(shù)字萬(wàn)用表中的失調(diào)電流為數(shù)十或數(shù)百皮安，與具有3fA 輸入偏置電流的 6514 型號(hào)相比，這嚴(yán)重限制了其低電流測(cè)量能力。

通過(guò)計(jì)算機(jī)控制器通過(guò)總線對(duì)儀器的所有功能進(jìn)行編程。儀 器的接口還簡(jiǎn)化了將外部硬件（例如信號(hào)源，開(kāi)關(guān)系統(tǒng)或其 他儀器）集成到測(cè)試系統(tǒng)中的過(guò)程。數(shù)字 I / O 接口可用于將 Model 6514 鏈接到許多流行的組件處理程序，以便在裝箱， 分類和類似應(yīng)用中進(jìn)行緊密的系統(tǒng)集成。

這些功能使 6514 型成為設(shè)計(jì)用于測(cè)試光學(xué)設(shè)備和低值電容器，開(kāi)關(guān)及其他設(shè)備上的泄漏電阻的系統(tǒng)的強(qiáng)大，工具，尤其是在測(cè)試系統(tǒng) 已包含電壓源或源電流/測(cè)量電壓技術(shù)用于確定電阻。

低電壓負(fù)擔(dān)

6514 型的反饋電流表設(shè)計(jì)使輸入電路中的電壓偏移*小化，這會(huì)影響電流測(cè)量精度。該儀器還可以通過(guò)前面板控件手動(dòng)或通過(guò)總線使用IEEE-488 命令主動(dòng)取消其輸入電壓和電流偏移。

暗電流測(cè)量

當(dāng)測(cè)量來(lái)自諸如光電二極管之類的設(shè)備的暗電流（圖 1）時(shí)， 電流表讀取兩個(gè)不同電流之和 個(gè)電流是檢測(cè)器產(chǎn)生的暗 電流（ID），沒(méi)有光照射到設(shè)備上（換句話說(shuō)，就是感興趣的信號(hào)）；個(gè)是電流表端子上出現(xiàn)的電壓負(fù)擔(dān)（V負(fù)擔(dān)）產(chǎn)生的泄漏電流（IL）。在反饋電流表中，主要的“電壓負(fù)擔(dān)"是放大器的失調(diào)電壓。該泄漏電流表示誤差電流。不使用抵消技 術(shù)，IL= V 負(fù)擔(dān)/ RL。圖 2 說(shuō)明了 6514 型調(diào)整了 CAL V 抵銷以將V 負(fù)擔(dān)抵消到幾微伏的電壓噪聲水平內(nèi)，因此測(cè)得的電流僅為真正的暗電流（ID）的光電二極管。以類似的方式，也可以抵消偏置電流。早期的靜電計(jì)使用內(nèi)部數(shù)字校正技術(shù)，其中仍然存在電壓負(fù)擔(dān)，因此測(cè)得的暗電流包括誤差項(xiàng) IL= V 負(fù)擔(dān)/ RL。

電壓負(fù)擔(dān)和測(cè)量誤差

靜電計(jì)可提供比進(jìn)行 DMM 測(cè)量時(shí)更低的端子電壓進(jìn)行電流測(cè)量。如圖 3 所示，數(shù)字萬(wàn)用表使用分流電阻測(cè)量電流，該分流電阻會(huì)在輸入電路中產(chǎn)生一個(gè)電壓（通常為 200mV 全量程）。這樣會(huì)產(chǎn)生約 200mV 的端電壓（V 負(fù)擔(dān)），從而降低了測(cè)得的電流。靜電計(jì)通過(guò)使用圖 1 所示的反饋電流表配置來(lái)降低此端子電壓。6514 型可通過(guò)消除噪聲來(lái)進(jìn)一步降低該端子電壓，使其達(dá)到電壓噪聲的水平。剩下的很小的失調(diào)電壓，如圖 2 所示。與使用數(shù)字萬(wàn)用表測(cè)量電流時(shí)發(fā)生的誤差信號(hào)相比，可以忽略的任何誤差信號(hào)。

應(yīng)用

高電阻率測(cè)量
離子選擇電極
pH 測(cè)量
電導(dǎo)池
電位計(jì)

筆記

1 .正確置零后，為 5?位。速率：慢（積分時(shí)間為 100ms）。

*大開(kāi)路電壓：250v dc。

預(yù)放大器設(shè)置時(shí)間（在<100pf 輸入電容時(shí)達(dá)到*終讀數(shù)的 10％）：2k 至 200k ：2ms；20m 200M ：90ms。2G 至 200G ：1s。

Tektronix 泰克Keithley 6514可編程靜電計(jì)產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)：