微型高低溫真空探針臺(tái) 加裝真空位移拉伸夾具 實(shí)現(xiàn)對(duì)柔性傳感材料在不同溫度 濕度 氣體濃度 壓力和位移條件下的電學(xué)信號(hào)測(cè)試 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移過程可采集樣品信號(hào) 熱臺(tái)溫度范圍 高溫60℃低溫-60℃ 機(jī)械泵極限真空小于1Pa
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