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      真空手動(dòng)腔體電學(xué)測(cè)試探針臺(tái)主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為50x50mm，臺(tái)面可升溫到350℃。

    真空手動(dòng)腔體電學(xué)測(cè)試探針臺(tái)腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和2-4芯信號(hào)真空電極，做多可選用6芯電極。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，需自行將引入腔體的信號(hào)線連接到測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電子信號(hào)。

(1)硬件測(cè)試電路的設(shè)計(jì):該部分主要為芯片的測(cè)試提供驅(qū)動(dòng)電壓和時(shí)序激勵(lì),同時(shí)完成像元響應(yīng)電壓信號(hào)的采集與處理,同時(shí)在數(shù)據(jù)采集部分設(shè)計(jì)有單端轉(zhuǎn)差分網(wǎng)絡(luò),消除共模噪聲的同時(shí)還可以增強(qiáng)模擬電壓信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力。

(2)真空腔體電學(xué)測(cè)試探針臺(tái)探針卡的設(shè)計(jì):對(duì)于不同陣列的探測(cè)器芯片,本文中設(shè)計(jì)有與之相對(duì)應(yīng)的測(cè)試探針卡,同時(shí)將偏置電壓的產(chǎn)生電路直接集成于測(cè)試探針卡上,偏置電壓可通過探針直接偏置到芯片上,避免模擬信號(hào)傳輸過程中受到的干擾。

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