KT-Z1650CVD是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。離子濺射儀
參數(shù)
設(shè)備名稱 | 小型濺射儀 | 小型蒸鍍儀 |
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
工作電源 | 直流濺射電源 | 直流熱蒸發(fā)電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W | ≤1500W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A | 電壓≤12V 電流≤100A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa | |
腔體真空 | ≤30Pa | |
擋板類型 | 電控 | |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） | |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 | |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm | 70-140mm |
蒸發(fā)坩堝容積 | 3ML | |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1600℃ | |
真空測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa） | |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 | |
可選配擴(kuò)展 | 1 膜厚在線測(cè)試 2 分子泵 | |
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