退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專(zhuān)門(mén)為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。

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