半導(dǎo)體材料氣體 xps-7
特點：
¬ 只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體
¬ 用盒式傳感器單元無需進(jìn)行檢測器校正
¬ 大幅度削減成本和維護(hù)時間
| 型號 | XPS-7 |
| 檢測原理 | 定電位電解式 |
| 檢測氣體對象 | 半導(dǎo)體材料氣體及臭氧等 |
| 指示范圍 | 根據(jù)要求 |
| 分辨率 | 、硅烷氯、氣氨氣等0.1ppm,磷烷0.01ppm |
| 指示精度 | 按氣體不同精度有所不同 |
| 報警模式 | 2段報警方式 |
| 報警方式 | 蜂鳴器(間歇音)、報警燈閃爍 |
| 應(yīng)答時間 | 60秒以內(nèi)(60%應(yīng)答) |
| 電源 | 5號堿性干電池4節(jié)或AC專用變壓器 |
| 電池使用時間 | 連續(xù)12小時以上 |
| 外型尺寸 | W762×H150×D128(除去突起物) |
| 檢測方式 | 泵吸式 |
| 使用溫度范圍 | 0℃～40℃ |
| 重量 | 約1.3kg |
| 附件 | 肩背皮帶、5號堿性干電池4節(jié)、過濾紙兩張 |
| 選購件 | AC專用變壓器、傳感器專用通電臺、數(shù)據(jù)收集配套元件 |
檢測氣體一覽表：
| XPS-7對象氣體一覽表 |
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| 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S |
| XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
| XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
| XPS-7DC | SiHCL3 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XPS-7AS | AsH3 | 250ppb | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 1ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XPS-7BH | B2H6 | 500ppb | XPS-7HF | BF3 | 1PPM | XPS-7NO | NO | 100ppm |
| XPS-7SE | H2Se | 250ppb | XPS-7HB | HBr | 10ppm | |
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