白光干涉儀的工作原理基于干涉現(xiàn)象,即當兩束光線相遇時,它們會產生干涉圖案。在儀器中,一束白光經過分束器被分成兩束光線,經過反射鏡反射后再次匯合,產生明暗條紋。這些條紋是由于兩束光線的相位差引起的,相位差取決于兩束光線經過的光程差。通過測量干涉條紋的移動變化,可以測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關的其他物理量。
應用:
半導體、印刷電路板、 微流體、航空航天、汽車、 顯示器、光學、手表制造。
白光干涉儀具有多種特點,包括非接觸式測量、三維表面測量、多重視野鏡片、納米級分辨率、高速數(shù)字信號處理器、掃描儀、工作臺以及基于Windows操作系統(tǒng)的測量軟件等。這些特點使得白光干涉儀在多個領域有廣泛的應用,如半導體晶片、液晶產品、微機電系統(tǒng)、光纖產品、數(shù)據(jù)存儲盤、材料研究、精密加工表面以及生物醫(yī)學工程等。

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