共聚焦技術(shù)能夠測(cè)量表面高度，將常規(guī)圖像轉(zhuǎn)換成光學(xué)剖面，其中，物鏡焦深范圍內(nèi)的那些區(qū)域的信號(hào)被保留，改善了圖像對(duì)比度、橫向分辨率和系統(tǒng)噪聲。
光學(xué)方案
對(duì)于 3D 成像，必須從相機(jī)的所有像素獲取數(shù)據(jù)。這意味著：重新構(gòu)建共聚焦圖像。為此，多狹縫圖像偏移一個(gè)像素，達(dá)到必要的次數(shù)，以填充相機(jī)。多狹縫每偏移一次，拍一張相機(jī)圖像，對(duì)那一刻照亮的像素應(yīng)用共聚焦算法。
SENSOFAR 技術(shù)
光學(xué)結(jié)構(gòu)中沒(méi)有運(yùn)動(dòng)零件
Sensofar 系統(tǒng)中實(shí)施的共聚焦掃描技術(shù)是微顯示器掃描共聚焦顯微鏡(根據(jù) ISO 25178 第 607 部分)。微顯示器創(chuàng)造了一個(gè)沒(méi)有運(yùn)動(dòng)零件的快速切換裝置，使得數(shù)據(jù)采集快速、可靠和準(zhǔn)確。由于這一點(diǎn)和相關(guān)的算法，Sensofar 的共聚焦技術(shù)產(chǎn)生了優(yōu)異的垂直分辨率。
專屬算法
不要現(xiàn)在阻止我！ 連續(xù)共聚焦
共聚焦測(cè)量技術(shù)中革命性的一步，將采集時(shí)間穩(wěn)步減少 3 倍。連續(xù)共聚焦模式通過(guò)同時(shí)掃描面內(nèi)和 Z 軸，避免了經(jīng)典共聚焦的離散(耗時(shí))面與面采集。對(duì)于減少大面積掃描和大 Z 掃描的采集時(shí)間至關(guān)重要。
Sensofar共聚焦白光干涉儀的主要特征：
1.共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達(dá)0.15μm線條和空間，空間采樣可減少到0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測(cè)量的理想選擇。高HA(0.95)和放大倍率(150X)的物鏡可用于測(cè)量局部斜率超過(guò) 70°的光滑表面。對(duì)于粗糙表面，最高可允許86°。
2.更佳的橫向分辨率：300nm(Rayleigh準(zhǔn)則)
3.斜率高達(dá)70º(光滑表面)和86º(粗糙表面)
4.連續(xù)共聚焦：速度堪比AiFV
5.高重復(fù)性，低至1 nm的系統(tǒng)噪聲
6.從1.5 μm到數(shù)毫米的厚度測(cè)量
7.更高程度的靈活性
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