本方案碳納米管生長(zhǎng)設(shè)備通過(guò)流量計(jì)和靜態(tài)混氣室把氣體均勻混拌，通過(guò)上通氣，氣體通過(guò)雙層管(夾層管預(yù)熱氣體，內(nèi)腔體生長(zhǎng)米管)確保通入的氣體進(jìn)入生長(zhǎng)腔體內(nèi)溫度一直，通過(guò)多空陶瓷網(wǎng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而解決均勻進(jìn)氣的問(wèn)題。使的生長(zhǎng)腔體熱場(chǎng)流場(chǎng)穩(wěn)定，確保得到高質(zhì)量重復(fù)性好的米管。
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| 1、爐管材質(zhì)：高純石英管 2、爐管尺寸：OD: 80 mm （外管），OD 50mm（內(nèi)管） 3、加熱元件：康奈爾電阻絲 4、工作溫度：連續(xù)工作溫度：≤1100℃ 5、溫控系統(tǒng)：30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7"液晶觸摸屏控制 6、控溫精度：±1℃ 7、加熱區(qū)長(zhǎng)度：600mm 8、恒溫區(qū)長(zhǎng)度：400mm |
| 供氣系統(tǒng) | 內(nèi)部裝有3路高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量；設(shè)靜態(tài)混氣室，有助于氣體充分混合，按要求配比。 工作電壓：185~245V 50HZ 最大輸出功率：18W 流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選） 工作溫度：5~45℃ 工作壓差：0.1~0.5MPa 最大壓力：3MPa 準(zhǔn)確度：±1.5% FS 測(cè)量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 針閥：316不銹鋼 混氣罐：Φ80×120mm 截止閥：Φ6mm"316不銹鋼針閥 尺寸：600×600×650 mm |
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