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AM-7000系列 白光干涉測厚儀可用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級別測量，以“面"的形式獲取表面3D形貌

通過專用軟件對3D形貌進(jìn)行處理和分析，最高RMS重復(fù)性可達(dá)0.002nm

超高速極大提高測量效率，可用于自動化產(chǎn)線

AM-7000搭配大量程高速納米壓電陶瓷器件，最高掃描速度400μm/秒，3200Hz加以業(yè)內(nèi)SST+GAT算法，可瞬間完成最高500萬點(diǎn)云采集

大視野高精度大視野、大范圍測量

白光干涉原理通過光干涉相位計量

任意放大倍率下均可獲得<1nm的檢測精度

豐富的測量工具從容應(yīng)對各種行業(yè)應(yīng)用

涵蓋市場上通用的國際標(biāo)準(zhǔn)測量工具，高效率輕松分析3D數(shù)據(jù)

精確捕捉超高精度

微觀3D形貌的能力

表面測量用白光干涉儀代理可用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級別測量，以“面"的形式獲取表面3D形貌

通過專用軟件對3D形貌進(jìn)行處理和分析，最高RMS重復(fù)性可達(dá)0.002nm

相移干涉法使用特定波長范圍內(nèi)的光源來確認(rèn)目標(biāo)面反射光和參考面反射光之間的光干涉。目標(biāo)面的反射光和參考面的反射光之間的相位為0,距離參考面的高度為h,則

O=4h/λ。借助相位測量法，使用壓電陶瓷移動測量面的光路，計算以1/4波長移動光路時獲得的多個干涉條紋的相位差(O),然后將其轉(zhuǎn)換為高度h。