SE-m 是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量的專用型光譜橢偏儀，其采用超小微光斑探測(cè)測(cè)量技術(shù)，定制超快測(cè)量速度等技術(shù)?？蓱?yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測(cè)量，適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。
二、特色功能
■可定制光斑尺寸，最小可達(dá)30um；
■超快測(cè)量，單次測(cè)量時(shí)間小于0.5秒；
■系列配置靈活，支持功能定制設(shè)計(jì)；
■結(jié)構(gòu)緊湊，更適應(yīng)在線集成測(cè)量。
三、測(cè)量實(shí)例
微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量
四、應(yīng)用場(chǎng)景
應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測(cè)量，適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測(cè)應(yīng)用。
所有評(píng)論僅代表網(wǎng)友意見，與本站立場(chǎng)無關(guān)。