這款手動(dòng)探針臺(tái)BU-4提供4''樣品真空卡盤和4'' x 4''滾珠軸承螺桿位移臺(tái),帶有theta角控制,磁性不銹鋼頂部壓板平臺(tái)帶有升降功能。配備三豐長(zhǎng)距離物鏡后非常適合FA整修和探針應(yīng)用,可配備多種相機(jī)。
圖1:手動(dòng)探針臺(tái)BU-4實(shí)物圖(4英寸卡盤)
二.6英寸/8英寸手動(dòng)探針臺(tái)BU-6和BU-8
手動(dòng)探針臺(tái)BU-6和BU-8采用超薄低剖面螺桿驅(qū)動(dòng)位移臺(tái),配備6''和8''樣品卡盤帶有theta調(diào)整,采用不銹鋼磁性頂部壓板平臺(tái),可以升降。可選配日本三豐或Motic探針顯微鏡,相機(jī)等。
圖2:6英寸/8英寸手動(dòng)探針臺(tái)BU-6和BU-8實(shí)物圖
三.8英寸手動(dòng)探針臺(tái)BU8-17
8英寸手動(dòng)探針臺(tái)BU8-17配備8''晶圓卡盤和14''壓板平臺(tái),具有上下升降功能。
圖3:8英寸手動(dòng)探針臺(tái)BU8-17實(shí)物圖
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