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微探針臺(tái)系統(tǒng)micro probe system可植入顯微鏡中,把顯微鏡改造成探針臺(tái)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)微操作和微測(cè)量功能。

微探針臺(tái)系統(tǒng)能夠把現(xiàn)有光學(xué)顯微鏡升級(jí)成高精度和高穩(wěn)定性的壓電微操縱儀器,非常適合緊湊空間和較短工作距離的顯微鏡使用。適合如下種類(lèi)的顯微鏡：

　　正置顯微鏡和倒置顯微鏡

　　探針臺(tái)

　　半導(dǎo)體檢測(cè)儀器

　　原子力顯微鏡

　　手套箱和各種環(huán)境箱

　　這款微探針臺(tái)系統(tǒng)非常適合較小的半導(dǎo)體器件的測(cè)試,可配備4個(gè)微操縱器模塊，可用于電控放大倍數(shù)的顯微鏡和XY樣品臺(tái)。

　　這款微探針臺(tái)系統(tǒng)可以根據(jù)應(yīng)用要求進(jìn)行晶圓測(cè)試配置，滿(mǎn)足亞微米尺度電學(xué)性能測(cè)試需要。我們可為您提供XYZ晶圓加載卡盤(pán)，提供制冷和加熱功能等集成方案。

微探針臺(tái)系統(tǒng)典型應(yīng)用

　　電學(xué)微探針：測(cè)量半導(dǎo)體器件或晶圓的電學(xué)性能

　　材料測(cè)試：測(cè)試新材料的電學(xué)性能

　　微操縱：對(duì)微小器件進(jìn)行微操作微操縱

微探針臺(tái)系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

　　顯微鏡部分

　　光學(xué)分辨率：約1.1um

　　放大倍數(shù)：2.8X~35.5X（物鏡10X)

　　工作距離：33.5mm

　　照明光源：同軸照明LED,光強(qiáng)可調(diào)

　　相機(jī)：1920x1200像素，USB3.0接口

　　焦距可調(diào)

　　樣品臺(tái)規(guī)格:手動(dòng)XY位移臺(tái),行程10mm x 10mm, 分辨率0.5mm

　　樣品尺寸：25.4mm 直徑

　　電學(xué)探針規(guī)格：

　　接口：4個(gè)BNC接口

　　電壓范圍：+/-100V

　　電流范圍：1pA~100mA

　　電阻：約為3.5V

　　探針臺(tái)模塊規(guī)格

　　自由度：4個(gè)獨(dú)立的自由度X,Y,Z,Qz

　　速度：2.5mm/s(XY), 150mrad/s(Z)

　　運(yùn)動(dòng)范圍： Stepping模式：20x20mm(XY), +/-180度（Qz), 42度（Z)

　　定位分辨率：Stepping模式下:50nm(X,Y), 120nm(Z)

　　探針規(guī)格：0.02'' (0.51mm) shank直徑，針尖半徑5nm~10um