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　　這套超快激光非晶硅激光刻膜機(jī)是特別為太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)光伏工業(yè)而設(shè)計(jì)的整套飛秒激光刻膜機(jī)系統(tǒng)?？捎糜?strong>光伏電池激光加工,激光去除氮化硅膜,氮化硅膜激光蝕刻,晶圓邊緣隔離，有可以當(dāng)作激光刻膜機(jī),激光劃片機(jī)使用。

　　這套非晶硅電池激光刻膜機(jī)采用*的紫外飛秒激光和紅外納秒激光，可以同時(shí)提供如下四合一服務(wù)：

　　— SiNx/SiO2去除,

　　去除二氧化硅,去除氮化硅

　　邊緣隔離晶圓

　　背接觸激光燒結(jié)和激光刻槽

　　激光打標(biāo)

　　其中紫外飛秒激光用于SiNx/SiO2的選擇性燒蝕或切除(氮化硅膜蝕刻),配備的紫外飛秒激光可以非常精密地剝蝕SiNx(去除氮化硅膜),同時(shí)在Si層的直接或熱效應(yīng)降低到，從而增加載流子壽命（少子壽命）,避免微裂紋。而配備的1064nm的納秒激光工作非常穩(wěn)定而快速，將用于晶片的快速激光邊緣隔離，激光打標(biāo)和激光燒結(jié)。

　　該非晶硅激光刻膜機(jī)配備自動(dòng)處理和掃描系統(tǒng)，支持5’’和6’’直徑的硅晶片加工。同時(shí)配備機(jī)械視覺(jué)系統(tǒng)以隨時(shí)調(diào)節(jié)激光束掃描,保持高度重復(fù)性和可靠性。

　　該非晶硅電池激光刻膜機(jī)配1級(jí)激光安裝防護(hù)裝置和灰塵消除系統(tǒng)，營(yíng)造無(wú)塵加工環(huán)境，以保證飛秒激光的精密燒蝕和熱效應(yīng)影響的最小化。

　　非晶硅電池激光刻膜機(jī)特色

　　·配備的激光器處理能力高達(dá)800個(gè)晶片/小時(shí)或350000px/s

　　·加工量為425個(gè)晶片/小時(shí),優(yōu)化后可用于2.5MW/a產(chǎn)品的生產(chǎn)線

　　·適用5'’和6''硅晶片 紫外飛秒激光和紅外納秒激光光源

　　·機(jī)械視圖系統(tǒng)可調(diào)節(jié)激光掃描場(chǎng)

　　· 精密激光光束定位

　　·激光劃線激光剝蝕激光熔化

　　非晶硅電池激光刻膜機(jī)成功經(jīng)歷

　　·為用戶提供了無(wú)銀敷金屬技術(shù)生產(chǎn)太陽(yáng)能電池

　　·成功地裝配到生產(chǎn)能力高達(dá)2.5MWp/a的生產(chǎn)線上。

　　這套非晶硅電池激光刻膜機(jī)使用飛秒激光對(duì)晶圓wafer的發(fā)射端進(jìn)行介電層（SiNx)的選擇性移除。SiNx厚度為50-90nm,覆蓋發(fā)射端，必須精確移除而不傷害發(fā)射 層。一種應(yīng)用是消蝕SiNx層的同時(shí)，也產(chǎn)生bus bars和fingers開(kāi)口，下一步,這些開(kāi)口將被鎳覆蓋，這樣就形成了高質(zhì)量的前接觸。這套非晶硅激光刻膜機(jī)系統(tǒng)使用振鏡掃描器（Galvanometer scanner)控制激光束切割發(fā)射端，的機(jī)械視圖功能能夠探測(cè)晶圓位置。