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　　閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)是針對(duì)激光束在激光加工過程中產(chǎn)生的低階像差進(jìn)行校正的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)。該閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)由雙壓電晶片變形鏡（DM）作為波前校正器，采用改進(jìn)的Shack-Hartmann技術(shù)測量波前梯度的和實(shí)現(xiàn)閉環(huán)算法的軟件組成。

　　閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)規(guī)格

　　?輸入光束孔徑-高達(dá)500 mm

　　?波長范圍-400…1100 nm（或根據(jù)客戶要求）

　　?波前采樣-20x20 lenslet子孔徑或更多

　　?工作頻率-高達(dá)100Hz

　　?校正像差-高達(dá)30λ@632.8 nm

　　?校正精度-優(yōu)于λ/10@632.8 nm

　　?工作電壓-100-120和200-240VAC@50/60Hz

　　閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)軟件包括：

　　?參考波前測量

　　?DM響應(yīng)函數(shù)的測量

　　?P-V，RMS的計(jì)算

　　?參考波前的保存與恢復(fù)

　　?閉環(huán)算法的“凍結(jié)"

　　?顯示控制電壓、電壓條、條紋、澤尼克系數(shù)、澤尼克條、波前梯度、參考狀態(tài)

　　閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)包裝：

　　?變形雙晶片鏡

　　?雙晶片反射鏡控制器

　　?哈特曼波前傳感器

　　?M2傳感器（可選）

　　?計(jì)算機(jī)（可選）