為什么選擇氦氣作為示蹤氣體
對示蹤氣體的要求:
1. 無害: 不能對人體、環(huán)境、被檢件、檢漏儀造成污染、傷害或是存在安全隱患;
2. 質量輕, 惰性氣體, 能穿透微小細縫;
3. 化學性質穩(wěn)定, 不會起化學反應或易燃易爆;
4. 是只有在空氣中含量盡可能少的氣體, 才能滿足檢漏靈敏度方面的要求.
示蹤氣體種類
1. 氫氣（H2）
2. 氦3（氦氣同位素氣體)
3. 氦4（He4 ）
目前, 絕大部分檢漏儀的示蹤氣體采用的是氦氣
一般檢漏都用氦氣（He）作為示蹤氣體, 也有用氫氣（H2）作為示蹤氣體的. 氫和氦都是比較理想的示蹤氣體: 空氣中的含量少, 質量輕, 運動速度快, 同等條件下, 直線運動距離長. 實際使用中, 也相對比較容易獲取, 可以大量使用. 但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實際大部分檢漏使用的是氦氣.
氦質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體, 主要原因如下
1. 氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極少 (在空氣中約含5.2ppm), 在材料出氣中也很少, 因此本底壓力小, 輸出的本底電流也小. 正因為本底小, 由某些原因引起本底的波動, 亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來.靈敏度高.
2. 氦的質量小 (相對分子質量為4) , 易于穿過漏孔. 這樣, 氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大, 容易發(fā)現, 靈敏度高.
3. 氦是惰性氣體, 不與被檢件器壁起化學反應, 不會污染被檢件, 使用安全.
4. 在氦兩側的是氫 (質荷比為2) 和雙電荷原子碳 (質荷比為6) , 質荷比都與氦相差較大. 這樣, 它們在分析器中的偏轉半徑相差也大, 容易分開. 定標找氦峰時, 不易受其他離子的干擾, 因此就降低了對分析器制造精度的要求, 易于加工. 同時, 分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大, 使更多的氦離子通過, 提高了儀器靈敏度.
5. 氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附, 這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏, 提高了儀器的檢漏效率.
