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上海伯東普發(fā) Pfeiffer 真空泵在高精度表面加工中的應(yīng)用
隨著科技不斷發(fā)展, 對(duì)工件加工的精度要求越來(lái)越高, 比如天文觀測(cè)臺(tái)運(yùn)用的凹透鏡, 在其生產(chǎn)過(guò)程中需要對(duì)透鏡進(jìn)行打磨和拋光, 達(dá)到 150 到 30 Nm 的精度. 實(shí)現(xiàn)這一精度方法是使用離子束加工透鏡及其他光學(xué)元件, 離子束加工具有可以精確控制, 污染少, 加工應(yīng)力小, 熱變形小, 加工表面質(zhì)量高等優(yōu)點(diǎn). 這種技術(shù)可對(duì)外形進(jìn)行準(zhǔn)確的修正, 從而產(chǎn)生超高質(zhì)量的表面.

離子束加工需要真空條件
離子束加工利用具有較高能量的離子束射到材料表面時(shí)所發(fā)生的撞擊效應(yīng), 濺射效應(yīng)和注入效應(yīng)來(lái)進(jìn)行不同的加工. 由于離子束轟擊材料是逐層去除原子, 所以可以達(dá)到納米級(jí)的加工精度.
離子束加工是在真空條件下先由電子槍產(chǎn)生電子束, 再引入已抽成真空且充滿惰性氣體的電離室中, 使低壓惰性氣體離子化. 由負(fù)極引出陽(yáng)離子又經(jīng)加速, 集束等步驟, 獲得具有一定速度的離子投射到材料表面, 產(chǎn)生濺射效應(yīng)和注入效應(yīng). 由于離子帶正電荷, 其質(zhì)量比電子大數(shù)千, 數(shù)萬(wàn)倍. 所以離子束比電子束具有更大的撞擊動(dòng)能, 通過(guò)微觀的機(jī)械撞擊能量進(jìn)行加工. 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 真空泵目前廣泛應(yīng)用于高精度表面加工應(yīng)用中.

普發(fā) Pfeifer 高精度表面加工客戶案例: 某國(guó)際生產(chǎn)各種規(guī)模離子束加工設(shè)備廠商, 其生產(chǎn)的設(shè)備不僅應(yīng)用于天文學(xué), 還用于 EUV 光刻技術(shù)和傳統(tǒng)的光學(xué)應(yīng)用. 其代表設(shè)備用于加工天文大規(guī)格透鏡, 真空腔室配置羅茨泵組和分子泵, 在非常短的時(shí)間內(nèi)提供 10-6 hPa 真空, 加工過(guò)程不會(huì)在表面上留下任何痕跡或張力, 并且?guī)缀蹩梢约庸と魏螏缀涡螤罨虿牧?

真空系統(tǒng)配置

上海伯東 Pfeiffer Vacuum 德國(guó)普發(fā)真空產(chǎn)品代理商, 銷售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產(chǎn)品已余20年. 可協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù). 擁有99% 維修設(shè)備和備品配件, 提供快速維修服務(wù).

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