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Polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵的原理及架構(gòu)概念
Polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵(Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麥斯納(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低溫盤管(Cryocoil)的超低溫表面上凝結(jié),從而達到捕集水汽的目的。
A 冷凍機
B 冷媒傳送管
C 冷凍連接頭
D 真空腔壁
E 冷凍界面
A 冷凍機
B 冷媒傳送管
C 真空控制閥
D 冷凍盤
E 真空幫浦
A. 冷媒流回口#1 B. 冷媒流出口#1 C.溫度線集中孔 D. 各段溫度顯示及切換 E. 系統(tǒng)控制模組可幫助顯示檢修相關(guān)問題 F. 除霜/待機/冷凍切換功能開關(guān)及顯示 G. 手冊置放處 H. 規(guī)格牌 I.遙控連接口,可進行遙控控制 J.主電源開關(guān),當(dāng)切換到OFF(O)位置時,主電源切斷 K.冷媒及真空Pump連接口 L.冷卻水進、出連接口 M. 壓縮機高低壓力開關(guān)表 N.冷媒流回口#2(第二組) O.冷媒流出口#2(第二組) P. 除霜/待機/冷凍切換功能開關(guān)及顯示(第二組) Q. Low voltage box 低電壓箱 R. High voltage box 高電壓箱 | ![]() |
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