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Polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵的原理及架構(gòu)概念

2022年09月14日 12:42:15      來源:伯東企業(yè)(上海)有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:27

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Polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵的原理及架構(gòu)概念

Polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵(Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麥斯納(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低溫盤管(Cryocoil)的超低溫表面上凝結(jié),從而達到捕集水汽的目的。

A 冷凍機

B 冷媒傳送管

C 冷凍連接頭

D 真空腔壁

E 冷凍界面

A 冷凍機

B 冷媒傳送管

C 真空控制閥

D 冷凍盤

E 真空幫浦

A. 冷媒流回口#1
B. 冷媒流出口#1
C.溫度線集中孔
D. 各段溫度顯示及切換
E. 系統(tǒng)控制模組可幫助顯示檢修相關(guān)問題
F. 除霜/待機/冷凍切換功能開關(guān)及顯示
G. 手冊置放處
H. 規(guī)格牌
I.遙控連接口,可進行遙控控制
J.主電源開關(guān),當(dāng)切換到OFF(O)位置時,主電源切斷
K.冷媒及真空Pump連接口
L.冷卻水進、出連接口
M. 壓縮機高低壓力開關(guān)表
N.冷媒流回口#2(第二組)
O.冷媒流出口#2(第二組)
P. 除霜/待機/冷凍切換功能開關(guān)及顯示(第二組)
Q. Low voltage box 低電壓箱
R. High voltage box 高電壓箱

若您需要進一步的了解Polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵詳細信息或討論,

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