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Pfeiffer Vacuum 德國普發(fā)于 1958年由 W. Becker 博士研發(fā)出渦輪分子泵并獲得
為了更好的了解Pfeiffer 渦輪分子泵, 現(xiàn)向您闡述其工作原理:

A.渦輪分子泵流程
（1）利用氣體分子和高速運動的機件互相碰撞之作用而將氣體分子帶出系統(tǒng)外氣體分子質(zhì)點碰撞到運動機件的表面，分子質(zhì)點碰撞反彈后，將會在其原來的熱力速度之外獲得一部分與機件表面運動方向平行的額外速度，這兩個分速度的合成量會造成分子質(zhì)點在碰撞之后的終速度，也決定分子質(zhì)點最后方向,如圖a所示。

(2）渦輪葉片形狀設計, 使原本任意方向運動的氣體分子都朝著一個方向而運動, 圖b 所示.
(3）轉(zhuǎn)子和靜子交換排列, 氣體分子與高速運動之葉片表面碰撞后, 經(jīng)由運動轉(zhuǎn)移而形成方向性運動的作用重復產(chǎn)生。每一轉(zhuǎn)子和靜子組合形成一壓縮級（Compression stage），圖c 所示.

（4）而每一壓縮級再串聯(lián)排列時, 就形成渦輪分子泵的架構(gòu), 圖d 所示。

下圖a.b.c.d 為渦輪分子泵原理示意
（a） 氣體分子粒與運動機件碰撞后額外速度分量
（b） 渦輪分子泵轉(zhuǎn)子葉片剖面與凈氣之產(chǎn)生
（c） 轉(zhuǎn)子與靜子組合形成壓縮級
（d） 組合多數(shù)、多層壓縮級后形成渦輪分子泵

B.渦輪分子泵如何達到抽氣的效果：

在分子流(Molecular flow)的環(huán)境下，氣體分子的密度甚低，分子平均自由徑(Mean free path)相當大，分子可以運