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電容真空計(jì)真空測(cè)量原理介紹
由于壓力不同,會(huì)引起電容兩極距離的變化,這會(huì)使電容的大小發(fā)生變化。這樣通過測(cè)量這種電容大小的變化,就能得知當(dāng)前的真空度。直接壓強(qiáng)測(cè)量; 測(cè)量范圍由電極膜片厚度不同而不同
CMR系列真空計(jì)參數(shù)
介面 | DN 16 ISO-KF |
解析度 | 0.003% 全量程 |
輸出信號(hào) | 0.4---+9.8 VDC |
介面溫度 | ≤110 ℃ |
壓力 | 2 bar |
精度 | 0.2% of reading |
重量 | <300 g |
接觸材質(zhì) | Ceramics(AL2O3),Stainless steel |
測(cè)量范圍 | 1.1---1.0*10-4mba |
信號(hào)線 | 120 m |
操作環(huán)境溫度 | +5---+50℃ |
儲(chǔ)存環(huán)境溫度 | -40---+65℃ |
供電電壓 | 14---30VDC |
功率消耗 | 1W |
CMR36X與27X比較:
型號(hào) | 測(cè)量范圍(mbar) | 型號(hào) | 測(cè)量范圍(mbar) |
CMR 361 | 1100--1E-1 | CMR 271 | 1100--1E-1 |
CMR 362 | 110—1E-2 | CMR 272 | 110—1E-2 |
CMR 363 | 11—1E-3 | CMR 273 | 11—1E-3 |
CMR 364 | 1.1—1E-4 | CMR 274 | 1.1—1E-4 |
CMR 365 | 0.11—1E-5 | CMR 275 | 0.11—1E-5 |
CMR系列真空計(jì)主要特點(diǎn):
1.沒有記憶影響
2. 測(cè)量精度不受被測(cè)對(duì)象的成分影響
3. 無磨損,耐污染
4. 使用熱膨脹系數(shù)一致的材料----出色的溫度補(bǔ)償能力
5. 全系列抗腐蝕性氣體
6. 0點(diǎn)穩(wěn)定能力出色
7. 耐空氣沖擊----無須額外的保護(hù)閥
CMR系列真空計(jì)應(yīng)用實(shí)例
PVA真空冶煉爐;株洲硬質(zhì)合金;富士康臻龍粉末燒結(jié)爐
離子真空計(jì)原理介紹
壓強(qiáng)的大小一方面體現(xiàn)為力的大小,另一方面還體現(xiàn)為單位體積內(nèi)分子數(shù)的多少。在高真空條件下,可以通過計(jì)量單位體積內(nèi)分子數(shù)的多少,來測(cè)知當(dāng)前的真空度。
電子在相同的電子能量,相同的磁場(chǎng)中,所引起的分子電離電流越大,說明分子數(shù)密度越大。離子真空計(jì)就是在高真空條件下,通過計(jì)量分子電離電流的大小來測(cè)得分子數(shù)密度,從而測(cè)得真空度。
冷陰極離子真空計(jì)(Cold cathode ionization vacuum gauge),是通過加在陰陽(yáng)兩極間的高電壓(3kv左右),激出電子,同時(shí)這個(gè)電場(chǎng)又給了電子能量,用具有一定能量的電子去電離空氣分子。
熱陰極離子真空計(jì)(Hot cathode ionization vacuum gauge), 是通過加熱陰極,激出電子,再設(shè)置一定的電場(chǎng)(100v左右),給電子一定的能量,去電離空氣分子。
Pfeiffer離子真空計(jì)介紹
項(xiàng)目 | IKR 251 | IKR 261 | IKR 270 | IMR 265 | PBR 260 |
信號(hào)范圍 | 1.8-8.5 V | 1.8-8.5 V | 1.8-8.5 V | 1.5-9.75 V | 0.774-10 V |
可烘烤溫度 | 150 ℃ | 150 ℃ | 250 ℃ | 150 ℃ | 150 ℃ |
耐壓 | 10 bar | 10 bar | 10 bar | 5 bar | 2 bar |
精度 | ±30% | ±30% | ±30% | - | 15% |
重復(fù)精度 | ±5% | ±5% | ±5% | 2% | 5% |
測(cè)量范圍 | 1E-2—2E-9 mbar | 1E-2—2E-9 mbar | 1E-2—5E-11mbar | 1E3—2E-6 mbar | 1E3—5E-10 mbar |
信號(hào)線長(zhǎng)度 | 500 m | 500 m | 500 m | 100 m | 100 m |
電源電壓 | 15-30 V | 15-30 V | 15-30 V | 20-30 V | 20-28 V |
功率消耗 | 2 W | 2 W | 2 W | 16 W | 16 W |
冷陰極離子真空計(jì)特點(diǎn):
1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,可靠耐用
2.性價(jià)比高,測(cè)量范圍可到超高真空
3.耐空氣沖擊
4.全系列可防腐蝕,有高溫烘烤型
熱陰極離子真空計(jì)特點(diǎn):
1. 精度和精密度高
2. 測(cè)量范圍寬
3. 探頭自動(dòng)保護(hù)
4. 全系列可防腐蝕
Pfeiffer離子真空計(jì)應(yīng)用實(shí)例
Von ardenne玻璃鍍膜生產(chǎn)線;BPS 濺鍍機(jī)