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Pfeiffer 旋片泵原理:
依據(jù)氣體壓縮時(shí)，其體積與壓力之間的關(guān)系達(dá)到抽氣效果。
其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。

旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外緣與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。


整個(gè)工作過程主要分為四個(gè)步驟，具體如下：
(1)真空系統(tǒng)連接由定子、轉(zhuǎn)子、葉片、彈簧形成的空間V，當(dāng)葉片轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，空間V體積增大，因此系統(tǒng)內(nèi)的壓力會(huì)??降低。如下圖 a）

(2)葉片B轉(zhuǎn)至進(jìn)氣口如圖位置時(shí)，體積V到達(dá)值Vmax，此時(shí)V與系統(tǒng)隔絕。如上圖 b）。
(3)當(dāng)葉片繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該體積Vmax內(nèi)的氣體被壓縮并推向排氣口位置。如下圖 c）。

(4)葉片進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體進(jìn)一步被壓縮，因此壓力增大，排氣口打開，氣體排出泵體。如上圖 d）。

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