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電容真空計介紹

真空測量原理介紹

由于壓力不同，會引起電容兩極距離的變化，這會使電容的大小發(fā)生變化。這樣通過測量這種電容大小的變化，就能得知當(dāng)前的真空度。直接壓強測量; 測量范圍由電極膜片厚度不同而不同

CMR系列真空計參數(shù)

CMR36X與27X比較:

CMR系列真空計主要特點：

◆沒有記憶影響

◆測量精度不受被測對象的成分影響

◆無磨損，耐污染

◆使用熱膨脹系數(shù)一致的材料----出色的溫度補償能力

◆全系列抗腐蝕性氣體

◆0點穩(wěn)定能力出色

◆耐空氣沖擊----無須額外的保護閥

應(yīng)用實例

◆ PVA真空冶煉爐

◆株洲硬質(zhì)合金

◆富士康臻龍粉末燒結(jié)爐

離子真空計原理介紹

壓強的大小一方面體現(xiàn)為力的大小，另一方面還體現(xiàn)為單位體積內(nèi)分子數(shù)的多少。在高真空條件下，可以通過計量單位體積內(nèi)分子數(shù)的多少，來測知當(dāng)前的真空度。

電子在相同的電子能量，相同的磁場中，所引起的分子電離電流越大，說明分子數(shù)密度越大。離子真空計就是在高真空條件下，通過計量分子電離電流的大小來測得分子數(shù)密度，從而測得真空度。

冷陰極離子真空計（Cold cathode ionization vacuum gauge）

是通過加在陰陽兩極間的高電壓（3kv左右），激出電子，同時這個電場又給了電子能量，用具有一定能量的電子去電離空氣分子。

熱陰極離子真空計(Hot cathode ionization vacuum gauge是通過加熱陰極，激出電子，再設(shè)置一定的電場（100v左右），給電子一定的能量，去電離空氣分子。

冷陰極離子真空計特點:

◆ 結(jié)構(gòu)簡單，可靠耐用

◆性價比高，測量范圍可到超高真空

◆耐空氣沖擊

◆全系列可防腐蝕，有高溫烘烤型

熱陰極離子真空計特點:

◆精度和精密度高

◆測量范圍寬

◆探頭自動保護

◆全系列可防腐蝕

應(yīng)用實例

◆Von ardenne玻璃鍍膜生產(chǎn)線

◆BPS 濺鍍機

Pfeiffer離子真空計介紹