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超純臭氧發(fā)生器（高濃度臭氧氣體發(fā)生器）臭氧濃度能達(dá)到99%嗎

此超純臭氧發(fā)生器不是我們常見的高濃度臭氧發(fā)生器，此款是發(fā)生器出口臭氧濃度為99%臭氧，不含混合氣體。原理如下：

臭氧發(fā)生器中產(chǎn)生的臭氧氣體在低溫冰箱中冷卻，高純度液態(tài)臭氧通過在臭氧室中的分離和積累而被冷卻。 該系統(tǒng)通過液體臭氧的蒸發(fā)能夠連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體。該裝置可以安全，連續(xù)地生產(chǎn)濃度接近100％的臭氧氣體。

產(chǎn)品特色

超純臭氧發(fā)生器是液化和儲存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見，本機(jī)具有足夠的安全措施。

安全測量

請始終在高純度和低壓條件下運行，以確保系統(tǒng)安全。

安全設(shè)計

•防爆設(shè)計

•通過電源使用故障安全系統(tǒng)進(jìn)行溫度/壓力控制。

可靠性

•具有緊急吹掃機(jī)制，以在停電時稀釋工藝氣體管線中的臭氧并排放設(shè)備內(nèi)的殘留臭氧。

•發(fā)生任何異常情況時（制冷機(jī)具有防止臭氧爆炸的運行維護(hù)功能），可以通過EMO（緊急關(guān)閉）開關(guān)手動切換。

•即使在不太可能發(fā)生的爆炸中，該結(jié)構(gòu)的設(shè)計也可以通過將液化室容納在真空絕緣的不銹鋼容器中來防止對外部設(shè)備造成任何機(jī)械損壞。

•液態(tài)臭氧冷卻裝置的熱量足以容納液態(tài)臭氧的累積量，從而降低了由于振動而迅速汽化的風(fēng)險，否則這是爆炸的危險因素。

標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證

•本機(jī)符合國際標(biāo)準(zhǔn)：SEMI-S2，UL，NFPA，CE等。

質(zhì)量保證

•通過第三方認(rèn)證機(jī)構(gòu)的示蹤氣體測試來驗證氣體泄漏的安全性。