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ICP等離子體的形成及工作原理

等離子體是指含有一定濃度陰離子、陽離子、自由電子、中性原子與分子在總體上呈中性能導(dǎo)電的氣體混合物。等離子體作為一種光源是20世紀(jì)60年代發(fā)展起來的一類新型發(fā)射光譜分析用光源。通常用氬等離子體進(jìn)行發(fā)射光譜分析，雖然也會存在少量試樣產(chǎn)生的陽離子，但是氬離子和電子是主要導(dǎo)電物質(zhì)。在等離子形成的氬離子能夠從外光源吸收足夠的能量，并將溫度維持在一定的水平，使進(jìn)一離子化，一般溫度可達(dá)10000K。目前，高溫等離子體主要有三種：電感耦合等離子體(inductively coupled plasma,ICP)；  直流等離子體(direct current plas-rna, DCP)；微波誘導(dǎo)等離子體．(microwave induced plasma,MIP)。其中尤以甩感耦合等離子體光源應(yīng)用。

電感耦合高頻等離子體的工作原理為：當(dāng)有高頻電流通過ICP裝置中線圈時，生軸向磁場，這時若用高頻點(diǎn)火裝置產(chǎn)生火花，形成的載流子（離子與電子）在磁場作用下，與原子碰撞并使之電離，形成更多的載流子，當(dāng)載流子多到足以使體（如氬氣）有足夠的導(dǎo)電率時，在垂直于磁場方向的截面上就會感生出流經(jīng)閉合圓形路徑的渦流，強(qiáng)大的電流產(chǎn)生高熱又將氣體加熱，瞬間使氣體形成溫度達(dá)10000K的穩(wěn)定的等離子炬。感應(yīng)線圈將能量耦合給等離子體，并維持等離子炬。