納米位移平臺采用無鐵芯直接驅(qū)動直線電機(jī),驅(qū)動軸位于納米位移臺的中心線, 這種設(shè)計消除了非中心驅(qū)動導(dǎo)致的偏航,空回等問題.集成了一個高分辨率(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為閉環(huán)的伺服系統(tǒng)工作操作提供了精密反饋, 它的標(biāo)準(zhǔn)配置就可以提供納米精度的定位.使用能夠了精密的滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)確保了位移平臺高精度性能和嚴(yán)格的軌跡控制。也適合OEM使用,它具有較低拋面和較小尺寸,采用模塊化設(shè)計,用戶可堆疊使用創(chuàng)建多軸多部件系統(tǒng)。
納米位移平臺特色:
10nm分辨率非接觸線性編碼系統(tǒng)
雙驅(qū)動任選:線性伺服或壓電驅(qū)動
高密度滾珠傳導(dǎo)增加穩(wěn)定性
超緊湊的單軸或雙軸納米位移臺
緊湊型封裝
可真空使用
工作能力,大吞吐量
尊敬的客戶:
您好,我司是一支技術(shù)力量雄厚的高素質(zhì)的開發(fā)群體,為廣大用戶提供高品質(zhì)產(chǎn)品、完整的解決方案和上等的技術(shù)服務(wù)公司。主要產(chǎn)品有粒子成像測速、全場應(yīng)變DIC、專線風(fēng)速儀等。本企業(yè)堅持以誠信立業(yè)、以品質(zhì)守業(yè)、以進(jìn)取興業(yè)的宗旨,以更堅定的步伐不斷攀登新的高峰,為民族自動化行業(yè)作出貢獻(xiàn),歡迎新老顧客放心選購自己心儀的產(chǎn)品。我們將竭誠為您服務(wù)!