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捷太格特 (JTEKT) 一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)在嚴酷環(huán)境下使用的特殊環(huán)境用軸承系列。

此次，捷太格特為解決半導(dǎo)體制造設(shè)備的維護修理、軸承單元化的推進等半導(dǎo)體制造相關(guān)的客戶難題推出了此項提案。

※ EXSEV®是為了對應(yīng)諸多環(huán)境和用途，使用了與通常不同的軸承材料和潤滑劑的軸承系列，是捷太格特的注冊商標。

背景概述

近年來，由于智能手機性能的提升、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)和人工智能的發(fā)展以及自動駕駛的普及，半導(dǎo)體的需求也在迅速擴大。捷太格特收集了半導(dǎo)體制造設(shè)備用戶的意見，把握軸承相關(guān)客戶的困擾，除了銷售產(chǎn)品，捷太格特還會為實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備的穩(wěn)定運行和提高生產(chǎn)效率，將服務(wù)擴展到半導(dǎo)體制造設(shè)備的維修市場。

另外，捷太格特將軸承從單品銷售到作為包含周邊部件的單元來使用，對簡化維護工作和延長維護周期做出了貢獻。

半導(dǎo)體制造過程中的軸承使用環(huán)境

捷太格特開發(fā)了適用于在真空、凈化、高溫、腐蝕等惡劣環(huán)境下加工的特殊環(huán)境用軸承，目前已具備了滿足客戶需求的產(chǎn)品陣容。

<表1：半導(dǎo)體制造工序和主要軸承使用環(huán)境>

*注：適用商品例 (1) 到 (4) 請參照以下的商品群

EXSEV系列主要產(chǎn)品陣容

（1）EXSEV ®-EX (真空、凈化用含氟類潤滑脂的軸承以及潤滑脂)

 【EXSEV ®-EX】【EXSEV ®-EX (潤滑脂) 】

在制造半導(dǎo)體的真空、凈化的環(huán)境下，需要在低蒸汽壓力下化學(xué)反應(yīng)穩(wěn)定的氟潤滑脂。捷太格特的產(chǎn)品有對環(huán)境負荷較小且不含全氟辛酸 (PFOA)的氟潤滑脂，以及封入該氟潤滑脂的低發(fā)塵軸承EXSEV ®-EX。

與現(xiàn)行品相比，它進一步降低了發(fā)塵量，具備優(yōu)異性能的同時符合環(huán)境法規(guī)，為減輕半導(dǎo)體制造設(shè)備對環(huán)境的負荷做出了貢獻。

<圖1  發(fā)塵量比>

參考URL: .cn/news/product/1017.html

※圖1：本公司對比

（2）NEW Clean Pro ®-PR (真空、凈化用特殊氟固體潤滑被膜軸承)

在高度凈化環(huán)境中，使用涂有特殊氟高分子膜的新凈化軸承。與現(xiàn)行品相比，釋放氣體相同、發(fā)塵量降低一半以上、發(fā)塵壽命※2 (圖2) 為10倍以上，實現(xiàn)了軸承性能的大幅度提高，對提高制造裝置可靠性以及運行成本的降低做出了貢獻。

※2發(fā)塵壽命：一定時間內(nèi)的發(fā)塵量超過清潔等級10 (ISO等級4) 為止的時間

參考URL:https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sepr/

<圖2 發(fā)塵壽命>

※NEW Clean Pro ®是株式會社捷太格特的注冊商標。

（3）EXSEV ®-XT 

(高溫用含氟潤滑脂的軸承)

加入了能在350°C高溫環(huán)境下使用的潤滑脂的高耐熱軸承。在300°C的溫度里，捷太格特實現(xiàn)了比現(xiàn)行高溫用固體潤滑軸承高達6倍以上的軸承壽命(圖3) 。通過在高溫下延?使用壽命，對降低設(shè)備的維護成本做出了貢獻。

<圖3  燒結(jié)壽命比>

（4）耐腐蝕陶瓷軸承

在某些制造工序中，存在即使是不銹鋼也無法應(yīng)對的腐蝕性的環(huán)境。而在軌道輪和滾珠上使用陶瓷材料的耐腐蝕陶瓷軸承可以對應(yīng)此種環(huán)境。捷太格特通過提供各種陶瓷軸承產(chǎn)品陣容以應(yīng)對多種腐蝕環(huán)境，為提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率做出貢獻。

<陶瓷軸承>

<圖4  陶瓷的適用范圍概念圖>

*EXSEV ®軸承系列其他產(chǎn)品介紹：https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/

捷太格特的軸承事業(yè)品牌“Koyo”，以“Key of your operation”為理念，作為與客戶共同解決問題、把喜悅提供給客戶的合作伙伴，將為客戶提供適應(yīng)多種環(huán)境的軸承、為所有產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展做出貢獻。

（來源：捷太格特）