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傳感器在未來技術(shù)方向的方展

　　1.集成工藝和多變量復(fù)合傳感器微結(jié)構(gòu)集成制造工藝;工業(yè)控制用多變量復(fù)合傳感器;　　2.網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)化傳感器,使傳感器具有工業(yè)化標準接口和協(xié)議功能.　　3.以MEMS工藝為基礎(chǔ),以集成化.智能化和網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)為依托,加強制造工藝和新型傳感器和儀表元器件的開發(fā),使主導(dǎo)產(chǎn)品達到和接近國外同類產(chǎn)品的*水平;MEMS工藝和新一代固態(tài)傳感器微結(jié)構(gòu)制造工藝:深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝:如常溫鍵合倒裝焊接.無應(yīng)力微薄結(jié)構(gòu)封裝.多芯片組裝工藝;以增加品種.提高質(zhì)量和經(jīng)濟效益為主要目標,加速產(chǎn)業(yè)化,使國產(chǎn)傳感器和儀表元器件的品種占有率達到70%"80%,高檔產(chǎn)品達60%以上.　　4.　智能化技術(shù)與智能傳感器信號有線或無線探測.變換處理.邏輯判斷.功能計算.雙向通訊.自診斷等智能化技術(shù);智能多變量傳感器,智能電量傳感器和各種智能傳感器.變送器.　

以工業(yè)控制.汽車.通訊.環(huán)保為重點服務(wù)領(lǐng)域,以傳感器.彈性元件.光學元件.專用電路為重點對象,發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的原創(chuàng)性技術(shù)和產(chǎn)品;

　　　　 推薦產(chǎn)品:電磁流量計,壓力變送器,孔板流量計,智能傳感器,超聲波流量計,渦街流量計,渦輪流量計,熱電偶.