X射線光電子能譜，簡稱XPS,別稱ESCAX射線光電子能譜學(xué)是近四十年來發(fā)展起
來的一門綜合性學(xué)科。它與多種學(xué)科相互交叉，融合了物理學(xué)，化學(xué)，材料學(xué)，真空電
子學(xué)，以及計算機技術(shù)等多學(xué)科領(lǐng)域。現(xiàn)代X射線光電子能譜學(xué)已經(jīng)發(fā)展為一門獨
立的，完整的學(xué)科。它是研究原子，分子和固體材料的有力工具。
優(yōu)點:(1)可測除H、He以外的所有元素。
(2)亞單層靈敏度;探測深度1~20單層，依賴材料和實驗參數(shù)。
(3)定量元素分析。
(4)優(yōu)異的化學(xué)信息，化學(xué)位移和伴峰結(jié)構(gòu)與完整的標準化合物數(shù)據(jù)庫的聯(lián)合使用。
(5)分析是非結(jié)構(gòu)破壞的;X射線束損傷通常微不足道。
(6)詳細的電子結(jié)構(gòu)和某些幾何信息。
缺點:
(1)典型的數(shù)據(jù)采集相對較慢，部分原因是由于XPS通常采集了更多的細節(jié)信息。
(2)使用Ar離子濺射作深度剖析時，不容易在實際濺射的同時采集XPS數(shù)據(jù)。
(3)橫向分辨率較低，15u(小面積)， 3μ(成像)。
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