三、露點(diǎn)儀技術(shù)指標(biāo)
露點(diǎn)儀測(cè)量范圍:露點(diǎn)-80~+20℃,(支持ppmv等)
露點(diǎn)儀露點(diǎn)精度:±0.5℃(在一定量程內(nèi))
(當(dāng)露點(diǎn)溫度低于0℃,傳感器輸出為霜點(diǎn))
響應(yīng)時(shí)間:63%[90%]
+60→-20℃ Td 5s[45s]
-20→-60℃ Td 10s[240s]
分辨率:露點(diǎn)0.1℃或0.1ppm
重復(fù)性:±0.2℃
露點(diǎn)儀氣體流量:SF 6 調(diào)節(jié)在0.5~0.9L/min,H 2 調(diào)節(jié)在0.1~0.4L/min
壓力測(cè)量:0~1.0MPa
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