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傳感器組成構(gòu)圖
敏感元件:直接感受被測量,并以確定關(guān)系輸出某一物理量(包括電學(xué)量)。
轉(zhuǎn)換元件:將敏感元件輸出的非電物理量,如位移、應(yīng)變、應(yīng)力、光強(qiáng)等轉(zhuǎn)換為電學(xué)量(包括電路參數(shù)量、電壓、電流等)。
轉(zhuǎn)換電路:將電路參數(shù)(如電阻,電感、電容等)量轉(zhuǎn)換成便于測量的電量,例如電壓,電流頻率等。
有些傳感器只有敏感元件,如熱電偶,它感受到被測溫差時(shí)直接輸出電動(dòng)勢。有些傳感器由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成,無需轉(zhuǎn)換電路,例如壓電式加速度傳感器。還有些傳感器只由敏感元件和轉(zhuǎn)換電路組成,如電容式位移傳感器。有些傳感器,轉(zhuǎn)換元件不只一個(gè),要經(jīng)若干次轉(zhuǎn)換后才輸出電量。
目前,由于空間的限制或技術(shù)等原因,轉(zhuǎn)換電路一般不和敏感元件、轉(zhuǎn)換元件裝在一個(gè)殼體內(nèi),而是裝入電箱中,但不少傳感器需通過轉(zhuǎn)換電路才能輸出便于測量的電量,而轉(zhuǎn)換電路的類型又與不同工作原理的傳感器有關(guān),因此要把轉(zhuǎn)換電路作為傳感器的組成環(huán)節(jié)之一。
傳感器種類繁多,應(yīng)用極廣,但為了滿足各種參數(shù)的檢測,除了需要研制新型敏感元件、增加元件品種以及改善其性能外,還需要設(shè)計(jì)正確的構(gòu)成傳感器的方法,即用敏感元件、轉(zhuǎn)換元件、轉(zhuǎn)換電路之間的不同組合方法,去達(dá)到檢測各種參數(shù)的目的。根據(jù)傳感器的各種組成,其構(gòu)成方法框圖如圖1-5所示,可將傳感器分成如下幾類。
基本型
基本型是一種只用敏感元件構(gòu)成的傳感器。它包括有能量變換基本型、輔助能源基本型和能量控制基本型3種。
基礎(chǔ)型傳感器的構(gòu)成方框圖 a、b、c示意圖
(一)能量變換基本型
如圖 a 所示,它是的只有敏感元件的傳感器。其輸入是被測非電量,輸出是電壓或電流,典型的例子有基于熱電效應(yīng)的熱電偶、基于光生伏應(yīng)的光電池、基于壓電效應(yīng)的壓電式力傳感器(如下圖所示)和固體電解質(zhì)氣體傳感器等。
壓電式壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖
能量變換基本型傳感器的特點(diǎn)是:傳感器從被測對(duì)象本身獲得能量,不需外加電源,敏感元件就是能量變換元件,因此屬于能量變換型的傳感器,也稱為無源型傳感器;它是利用熱平衡或傳輸現(xiàn)象中的一次效應(yīng)構(gòu)成的。由于一次效應(yīng)存在逆效應(yīng),當(dāng)敏感元件輸入信號(hào)時(shí),其輸出將產(chǎn)生逆效應(yīng)而影響輸入,因此對(duì)被測對(duì)象有負(fù)荷效應(yīng);輸出端所輸出的能量不可能大于被測對(duì)象的能量。
(二)輔助能源基本型
某些由敏感元件構(gòu)成的傳感器,為了增加其抗力,提高穩(wěn)定性,以及取出電信號(hào)而采用了電源,或因工作原理需要而使用固定磁場,但它們輸出的能量是從被測對(duì)象上獲得的,因此仍是一種能量變換型傳感器,上面提到的電源或磁場稱為輔助能源或偏壓源,如圖 b 所示輔助能源基本型傳感器的例子有:光電管、光敏二極管、磁電感應(yīng)式傳感器、霍爾式傳感器等。
(三)能量控制基本型
如圖 c 所示,能量控制基本型也只由敏感元件構(gòu)成,但需用外加電源才能將被測非電量轉(zhuǎn)換成電壓等電量輸出,其典型例子有聲表面波傳感器、變壓器式位移傳感器、感應(yīng)同步器、離子敏場效應(yīng)晶體管、電化學(xué)電解電池傳感器等。
能量控制基本型的特點(diǎn)是:需外加電源;輸出能量可大于被測對(duì)象所輸入的能量。
電路參數(shù)型傳感器的構(gòu)成圖 d示意圖
電路參數(shù)型
它是由敏感元件,以及包含該敏感元件在內(nèi)的轉(zhuǎn)換電路和電源組成,如圖 d 所示。其特點(diǎn)是:敏感元件對(duì)輸入非電信號(hào)進(jìn)行阻抗變換;電源向包含有敏感元件的轉(zhuǎn)換電路提供能量,從而輸出電壓或電流,因此屬于能量控制(或稱調(diào)制)型傳感器;輸出能量遠(yuǎn)大于輸入能量。利用熱平衡或傳輸現(xiàn)象中的二次效應(yīng)的傳感器均屬此類。
電路參數(shù)型傳感器有電阻應(yīng)變式、電感位移式、電渦流位移式、電容位移式等傳感器以及氣敏電阻、濕敏電阻、光敏電阻、熱敏電阻等傳感器。
多級(jí)變換型
目前,大多數(shù)傳感器都是利用敏感元件把被測非電量轉(zhuǎn)換成某種可利用的中間變換物理量,再通過轉(zhuǎn)換元件,有時(shí)還需用轉(zhuǎn)換電路,轉(zhuǎn)換成便于測量的電量輸出,如圖1-5(e)所示。如利用彈性體作為力、壓力等敏感元件,再通過應(yīng)變片和電橋輸出電信號(hào),就能測量出壓電元件所不能測出的小壓力。這種二級(jí)或二級(jí)以上的變換增加了傳感器設(shè)計(jì)的自由度,因而可設(shè)計(jì)出測量各種非電參數(shù),適應(yīng)各種條件的傳感器。
e 多級(jí)變換型 示意圖
可利用的中間變換物理量是指那些容易轉(zhuǎn)換成電學(xué)量的物理量,如1—6所列。
表1-6 可利用的中間變換物理量
多級(jí)變換型又分為能量變換型和能量控制型兩類。前者的例子有壓電式加速度傳感器、L—氨基酸梅傳感器等;后者的例子有應(yīng)變式力傳感器、電容式加速度傳感器、霍爾式壓力傳感器、光纖式加速度傳感器、酶熱敏電阻式傳感器等。
參比補(bǔ)償型
為了消除環(huán)境條件變化(如溫度變化、電源電壓波動(dòng)等)的影響,傳感器采用兩個(gè)性能相同的敏感元件,如圖 f 所示,其中一個(gè)敏感元件感受被測量和環(huán)境條件量,另一個(gè)只感受環(huán)境條件量而作為補(bǔ)償用,以達(dá)到消除或減小環(huán)境干擾的影響,這種組合形式稱為參比補(bǔ)償型。例如壓電式壓力傳感器,當(dāng)被測壓力變化與環(huán)境溫度變化相接近時(shí),采用溫度補(bǔ)償片構(gòu)成參比補(bǔ)償型傳感器,以減小溫度變化的影響。又如,用電阻應(yīng)變式傳感器構(gòu)成參比補(bǔ)償型傳感器時(shí),則將其兩個(gè)(或兩個(gè)以上)敏感元件(一個(gè)為工作片,另一個(gè)為補(bǔ)償片)同時(shí)接到電橋電路的相鄰兩臂,這樣就能對(duì)溫度、電源電壓等變化的影響起到補(bǔ)償或消除作用,因此參比補(bǔ)償傳感器有利于提高測量精度。
f 參比補(bǔ)償型 示意圖
差動(dòng)結(jié)構(gòu)型
為了提高傳感器的靈敏度和線性度,并減小或消除環(huán)境等因素的影響,傳感器常采用差動(dòng)結(jié)構(gòu),即用兩個(gè)性能相同的敏感元件同時(shí)感受相同的環(huán)境量和方向相反的被測量,如圖 g 所示。其例子有差動(dòng)電阻應(yīng)變式、差動(dòng)電容式、差動(dòng)電感式等屬于能量控制型的傳感器,當(dāng)用壓電元件測量壓力時(shí),如果其加速度效應(yīng)的影響不可忽略,則需采用兩個(gè)壓電元件反極性安裝構(gòu)成差動(dòng)型,以補(bǔ)償加速度的影響,同時(shí)還可提高傳感器的靈敏度,但壓電元件屬于能量變換型傳感器。
g 差動(dòng)結(jié)構(gòu)性示意圖
反饋型
反饋型傳感器是一種閉環(huán)系統(tǒng)。其特點(diǎn)是傳感器的敏感元件(或轉(zhuǎn)換元件)同時(shí)兼作反饋元件,使傳感器輸入處于平衡狀態(tài),因此亦稱為平衡式傳感器,如圖 h 所示,目前,主要有力反饋型(包括位移反饋型)和熱反饋型兩類,其例子有差動(dòng)電容力平衡式加速度傳感器和熱線熱反饋式流速傳感器等。
反饋型傳感器結(jié)構(gòu)復(fù)雜,應(yīng)用于特殊場合,如高精度微差壓的測量,以及高流速的測量等。
h 反饋型 示意圖
綜合上述傳感器的各種構(gòu)成方法及它們的組合,則可利用有限的敏感元件(包括轉(zhuǎn)換元件)設(shè)計(jì)出多種性能的傳感器,實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的測量,傳感器的主要敏感元件如表1-7所列。
表1-7 傳感器的主要敏感元件