附1中國國家電子級超純水規(guī)格 GB/T11446.1-1997
| 電阻率
25℃
MΩ*cm | 硅
≤μg/L | 銅
≤μg/L | 鋅
≤μg/L | 鎳
≤μg/L | 鈉
≤μg/L | 鉀
≤μg/L | 氯
≤μg/L | >1μm顆粒
≤個/ml | 細菌
≤個/ml | 硝酸根
≤g/L | 磷酸根
≤μg/L | 硫酸根
≤μg/L | TOC
≤μg/L | EW-I | ≥18* | 2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.1 | 0.01 | 1 | 1 | 1 | 20 | EW-II | ≥15 ** | 10 | 0 | 0 | 1 | 2 | 2 | 1 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
注*（95％時間不低于17），**（95％ 時間不低于13）
中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準 指標/級別 | EW－Ⅰ | EW－Ⅱ | EW－Ⅲ | EW-Ⅳ | 電阻率 MΩ，cm(25℃) | 18以上，（95％時間）不低于17 | 15，（95％時間）不低于13 | 12.0 | 0.5 | 全硅，值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 | ＞1μm微粒數(shù)，值，個/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 | 細菌個數(shù)，值，個/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 | 銅，值，μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 | 鋅，值，μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 | 鎳，值，μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 | 鈉，值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 | 鉀，值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 | 氯，值，μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 | 硝酸根，值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 磷酸根，值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 硫酸根，值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 總有機酸，值，μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
| 
網(wǎng)站客服
