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如何判斷真空系統(tǒng)有否漏氣及解決方法？

1. 如果在峰監(jiān)測窗口中m/z28 強(qiáng)度比m/z18強(qiáng)度 大于2則有漏氣可能，進(jìn)一步判斷m/z28強(qiáng)度和m/z69強(qiáng)度比例，小于2即不漏氣，若大于2則有漏氣的可能。
　　2. 確認(rèn)真空啟動的時間，一般情況下真空啟動2小時后才能達(dá)到較穩(wěn)的狀態(tài)，如果啟動時間小于1小時，氮?dú)夥蹇赡軙愿摺?
　　3. 確認(rèn)系統(tǒng)是否存在假漏氣：
　　①如果剛剛更換鋼瓶，載氣管路中混入空氣，在一段時間內(nèi)造成氮?dú)夥遢^高，可加大分流比，使總流量加大到500 ml/min，吹掃10分鐘后再進(jìn)行漏氣檢查。
　　②如果剛剛更換載氣管路過濾器，在一段時間內(nèi)造成氮?dú)夥遢^高，可加大分流比，使總流量加大到500 ml/min，吹掃10鐘后再進(jìn)行漏氣檢查。
　　③如果載氣管路中安裝了氦氣過濾器，使用一段時間后過濾器會產(chǎn)生飽和而釋放氮?dú)猓斐煞灞O(jiān)測時氮?dú)夥迓愿撸ㄗh更換新的氦氣過濾器。
　?、芎饧兌炔粔颍s質(zhì)中含有部分氮?dú)?，在峰監(jiān)測時氮?dú)夥迓愿摺?
　　4. 經(jīng)過以上判斷，若在峰監(jiān)測時依然漏氣，見的漏氣可能有：
　?、偕V柱兩端的螺母是否緊固，新安裝的Vesple壓環(huán)，需要升溫至200-250°C保持10—30分鐘后，降溫后重新緊固才可以密封。
　　②檢查進(jìn)樣口密封墊是否已經(jīng)超過使用次數(shù)，進(jìn)樣口螺母是否擰緊。
　?、蹤z查進(jìn)樣口襯管O型密封圈是否已經(jīng)破損, 進(jìn)樣口襯管螺母是否擰緊。
　?、苋绻婵涨婚T的密封圈上沾有灰塵，也會造成系統(tǒng)漏氣，請關(guān)閉真空后打開真空腔門，清除密封圈上的灰塵，重新啟動真空，進(jìn)行漏氣檢查。