臺式真空等離子清洗機(jī)是一款非常適用于科研、實驗室的設(shè)備,設(shè)備體積小,可以置于桌面、手套箱等,非常方便;使用成本極低、易于維護(hù)的特點。對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和改性。
1.桌面型臺式,設(shè)備體積小,移動方便,可放置于實驗室的各種實驗桌、手套箱內(nèi)等;
2.體積4.3L,樣品有效處理面積大
3.采用氣浴電極,清洗效率高。
4.根據(jù)客戶需求不同,可選擇40KHz或者13.56MHz等離子發(fā)生器。
5.操作維護(hù)簡單,易上手,無耗材,使用成本低。
臺式真空等離子清洗機(jī)PLUTO-T參數(shù):
1. 真空腔規(guī)格: 不銹鋼腔體,4.3L
2. 電極:平板氣浴電極,材質(zhì)鋁合金
3. 電極尺寸:95*170mm
4. 頻率:40K赫茲 (可選配13.56M赫茲射頻等離子源)
5. 功率:0-200W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)
6. 氣體控制: 0-300ml 標(biāo)配1路氣路
7. 真空計:電偶式真空計,精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,手動控制