原位程序升溫反應系統(tǒng)是在標準樣品臺基礎上搭建四電極反饋控溫的加熱模塊,在掃描電鏡中實現(xiàn)樣品的氣氛、液氛環(huán)境及固體樣品高分辨成像和精準、均勻、控溫,溫度精度優(yōu)于±0.1k,z高溫度1000℃。通過網(wǎng)絡銷售培訓的熱場模擬及獨的芯片設計,實現(xiàn)無漂移加熱過程,可在加熱升溫過程中實現(xiàn)實時觀測成像。樣品臺上的原位芯片采用特殊的組裝和密封方式與電鏡的真空阻隔,避免電鏡受到污染和損壞。
優(yōu)勢:
1.超高分辨率
a.超薄氮化硅膜(25-50nm)
b.分辨率優(yōu)于10nm網(wǎng)絡銷售培訓度、
2.靈敏度高
a.四電極形成反饋控制系統(tǒng),控溫準
b.觀測區(qū)域全覆蓋,升溫快且均勻
3.穩(wěn)定性好
a.科學設計,漂移率***小化
b.樣品臺與芯片匹配良好,芯片不漂移
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