MFC330傳感器基于毛細(xì)管柱熱式傳感器，毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。
第一條路徑：流經(jīng)加熱的毛細(xì)管傳感器管，該管的直徑較小且長度較長。
第二條平行路徑：通過分流旁路。
兩條路徑的流量比例取決于分流柱的設(shè)定，出廠前完成該設(shè)定。
設(shè)定完成后，通過毛細(xì)管柱傳感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。
毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。
需要預(yù)熱：5min內(nèi)達(dá)到95%流量精度，最長預(yù)熱30min
基于熱傳導(dǎo)，MFC響應(yīng)速度≤1s優(yōu)點：由于其非接觸式的結(jié)構(gòu)，抗腐蝕，液體不損壞，過流不損壞。
MCL300是一款面向MFC300(氣體質(zhì)量流量控制器）的專用控制及顯示儀表，可以同時控制及顯示16臺MFC300，可以對MFC進行流量、流量累積量的控制及顯示?？梢詫崿F(xiàn)對氣體流量的自動或手動輸出和氣體流量累積量的手動及循環(huán)輸出，可以滿足絕大部分用戶對氣體的流量及流量累積量操控要求。
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