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THK直線模組運(yùn)動(dòng)精度的范圍還沒(méi)有明確的定義。這里，暫定義為:在使用運(yùn)動(dòng)速度時(shí)的位置、速度、加速度相關(guān)的精度稱為運(yùn)動(dòng)精度。

與位置相關(guān)的精度包括真直線度、旋轉(zhuǎn)精度、位置確定精度(直線、分度)、輪廓精度等。使用激光干涉儀測(cè)量真直線度和位置精度(直線、分割)時(shí)應(yīng)符合上述測(cè)量原理。即使測(cè)點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)是真直線，但運(yùn)動(dòng)物體是一個(gè)整體的滾動(dòng)、偏航和俯仰，因此有必要用線性模量作為一個(gè)整體來(lái)測(cè)量運(yùn)動(dòng)物體。

輪廓精度尤其是具有代表性的圓弧輪廓精度，在機(jī)械加工中的重要工程。通過(guò)測(cè)量機(jī)械做圓的半徑為填充之間的圓周運(yùn)動(dòng)，讀出從隱藏的波紋腳處得到的誤差，并拿到電腦上進(jìn)行處理。最小單位的讀數(shù)精度為0.1 (xm，測(cè)量精度為0.5，用這種方法，可測(cè)量精度高，能量高，并可診斷運(yùn)動(dòng)誤差的原因。但這只是以圓弧輪廓精度為對(duì)象，對(duì)任意形狀的運(yùn)動(dòng)精度的測(cè)定必須使用干涉儀。

一般情況下，任何形狀的軌跡都可以通過(guò)運(yùn)動(dòng)得到。現(xiàn)在用激光干涉儀每隔一段時(shí)間測(cè)量三軸的運(yùn)動(dòng)，最后合成數(shù)據(jù)。旋轉(zhuǎn)精度可以通過(guò)使參考球或軸接近真圓旋轉(zhuǎn)和非接觸來(lái)獲得其位移。球可以從徑向和軸向測(cè)量精度。參考球的精度(誤差1/10)是測(cè)量系統(tǒng)(原理3)的5 – 10倍，但在實(shí)際中很難得到高精度的球。

速度有激光多普勒測(cè)定儀、激光多普勒振動(dòng)儀等。加速度一般由加速度計(jì)測(cè)量，一般由加速度放大器測(cè)量，加速度放大器是安裝在運(yùn)動(dòng)物體上的壓電元件。