當前位置:全球制造網(wǎng) > 技術(shù)中心 > 使用手冊
國儀量子場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro
產(chǎn)品介紹
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設(shè)計,高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計,實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。
電子槍類型 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
加速電壓 20 V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV 1.2 nm @ 1 kV
樣品臺 五軸全自動樣品臺
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
產(chǎn)品特點
分辨率高,低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像
高壓隧道技術(shù) (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力
電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品
水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動切換光闌孔,無需機械調(diào)節(jié),實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換