真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備，采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。真空滅弧室的波紋管是保證動觸頭在一定范圍內(nèi)運動和長期使滅弧室保持高真空的重要元件，要求有很高的機械壽命。波紋管本身存在的裝配、材料(夾雜、微裂紋、劃傷)等方面的缺陷都會嚴重影響真空滅弧室的壽命。同時真空開關(guān)的工作條件、操作機構(gòu)的安裝調(diào)整質(zhì)量等都會影響波紋管的使用壽命。
材料放氣和滅弧室漏氣是使真空滅弧室內(nèi)壓強升高的另一個原因。引起真空度測試儀發(fā)生變化的材料放氣包括材料表面吸附的氣體和觸頭材料中所含的氣體雜質(zhì)。有研究表明，在經(jīng)過有限次的分合后，氣體的析出與觸頭電弧蒸散生成物的吸氣可以達到平衡，不再影響真空度測試儀的變化。同時氣體的滲透也會造成真空度測試儀壓強的升高。但由于滲透率較小，因此滲透現(xiàn)象對真空度測試儀壓強升高的影響并不明顯。
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