KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統(tǒng)采用專有的光學技術，可同時測量兩個入射角的散射強度。它可以捕捉到形貌變化、表面反射率、相位變化和光致發(fā)光，從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統(tǒng)為氮化鎵晶圓提供表面和光致發(fā)光的缺陷檢測，對氮化鎵位錯、凹坑和孔洞進行檢測和分類，用于氮化鎵反應器的缺陷控制。其功率應用包括基于碳化硅的透明晶圓檢查和晶體缺陷分類，如基面位錯、微管、堆疊層錯缺陷、條形堆疊層錯缺陷、晶界和位錯，以及對三角形、胡蘿卜形、滴落物和劃痕等形貌缺陷進行檢測。
檢測寬帶隙材料上的缺陷，包括直徑達200毫米的碳化硅和氮化鎵(襯底和外延)
支持各種晶圓厚度
對微粒、劃痕、裂紋、沾污、凹坑、凸起、KOH蝕刻、胡蘿卜形與表面三角形缺陷、基平面位錯、堆疊層錯、晶界、位錯和其他宏觀外延干擾進行檢測。
表面缺陷檢測系統(tǒng)應用案例
襯底質量控制
襯底供應商對比
入廠晶圓質量控制(IQC)
出廠晶圓質量控制(OQC)
CMP(化學機械拋光工藝)/拋光工藝控制
晶圓清洗工藝控制
外延工藝控制
襯底與外延缺陷關聯(lián)
外延反應器供應商的對比
工藝機臺監(jiān)控
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