真空環(huán)境光譜共焦傳感器在工業(yè)精密測量領(lǐng)域，面對鏡面、透明材料、復(fù)雜曲面及嚴(yán)苛環(huán)境的挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)傳感器常顯乏力。LTC 光譜共焦位移傳感器憑借突破性的光學(xué)設(shè)計(jì)與技術(shù)創(chuàng)新，不僅實(shí)現(xiàn)了亞微米級精度的穩(wěn)定測量，更可根據(jù)客戶需求定制真空環(huán)境專用版本，為半導(dǎo)體、航空航天、高duan制造等領(lǐng)域提供極zhi可靠的測量方案。
真空環(huán)境
光譜共焦傳感器的核心優(yōu)勢：重新定義精密測量標(biāo)準(zhǔn)
1. 極zhi精度，全場景適配
超高重復(fù)精度與線性精度：部分型號重復(fù)精度可達(dá) 3nm，線性誤差低至 ±0.03μm，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)激光傳感器，滿足納米級精度要求。
多光斑智能切換：提供小光斑(φ1.7μm)、大光斑及四光點(diǎn)式光斑，適配微小目標(biāo)物(如芯片引腳)、粗糙表面及復(fù)雜輪廓測量，有效抑制表面凹凸干擾。
超大測量角度：支持 ±60° 測量角度，無需嚴(yán)格對準(zhǔn)被測物，對深孔、凹坑、曲面實(shí)現(xiàn)無si角檢測。
2. 抗干擾能力強(qiáng)，復(fù)雜環(huán)境穩(wěn)定輸出
共焦光學(xué)設(shè)計(jì)：通過針孔濾除雜光，僅聚焦位置的單色光被接收，抗環(huán)境光干擾能力卓yue，在強(qiáng)背光、多光源場景下仍保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定。
透明 / 鏡面材料友好：同軸共焦光路設(shè)計(jì)解決傳統(tǒng)激光傳感器在透明介質(zhì)(如玻璃、晶圓)或鏡面表面的光斑偏移問題，實(shí)現(xiàn)高度變化時(shí)測量點(diǎn)無偏差。
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